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晶圓表面缺陷檢測:半導體制造中的關鍵質量控制環節
2025-01-22

在半導體制造業中,晶圓作為芯片的基礎載體,其表面質量直接決定了最終產品的性能和可靠性。晶圓在生產過程中,由于多種因素的影響,如材料純度、制造工藝、設備精度等,表面可能會出現各種缺陷,如劃痕、顆粒污染、裂紋、氧化層異常等。這些缺陷不僅會降低芯...

  • 2023-06-08

    電容式位移傳感器是一種廣泛應用于機械加工、自動化控制和精密測量等領域的傳感器。它可以檢測物體的微小位移,并將其轉換為電信號輸出,具有高精度、高靈敏度、可重復性好等特點。電容式位移傳感器的工作原理基于電容的變化。當兩個帶電電極之間有介質隔開時,它們之間的電容量會受到介質性能和電極間距離的影響而改變。因此,在該傳感器中,常采用平行板電容器的結構,將一個電極固定在底部的稱為靜電極,另一個電極固定在一個動態可移動的測量物體上,稱為運動極。當測量物體發生微小的位移時,運動極的位置也會發...

  • 2023-06-08

    電鏡隔振臺是一款緊湊型模塊化的主動隔振系統,有利于為基礎研究、應用研究、生產等領域所用精密儀器創造穩定的測量環境。本產品可在寬頻率范圍內進行隔振,為原子力顯微鏡、非接觸式表面輪廓儀、微型檢測設備等提供優異的隔振性能。工作原理:安裝有測量和制造設備的地板或多或少會有振動。如果這些振動對設備造成不利影響,有效的解決方案則是使用隔振臺,以便營造適合該設備的條件。電鏡隔振臺使用電氣控制,通過對傳入振動施加反方向的力來立即消除振動。傳感器不斷監測振動,并基于該信息,執行器沿相反方向產生...

  • 2023-06-08

    1.簡介光學光刻(Opticallithography),也稱為光學平版印刷術或紫外光刻,是在其他處理步驟(例如沉積,蝕刻,摻雜)之前用光刻膠對掩模和樣品進行構圖的方法。2.設備(接近式光刻機)2.1HMDS及涂膠1)標準旋轉工藝中包括HMDS蒸汽預處理2)烤箱-批量處理多個晶圓3)HMDS也可以在手動旋轉器上旋轉涂布4)涂膠機上進行光刻膠的涂布2.2對準接觸光刻1)光刻前的對準2)對準器——處理具有對準圖形的晶圓3)EVG610等掩模對準機——尺寸從碎片到12”晶圓4)曝光...

  • 2023-06-07

    電容式位移傳感器是一種常用的測量裝置,可以實時監測物體的位置、形態和運動狀態等。但是,在使用電容式位移傳感器時,也存在一些需要注意的問題,以下為詳細介紹:1.靜電干擾:電容式位移傳感器對靜電干擾比較敏感,在使用時應盡可能減少或避免靜電干擾。特別是在干燥環境下,靜電干擾更加嚴重,會造成誤差的產生。2.靈敏度:本產品的靈敏度較高,因此需要進行相應的校準,以確保其精度和可靠性。校準時應注意傳感器與被測對象之間的距離、介質、溫度等因素的影響。3.溫度漂移:溫度變化會導致產品本身的參數...

  • 2023-06-05

    粗糙度測定儀的應用表面質量的特性是零件非常重要的特性之一,在計量科學中表面質量的檢測具有重要的地位。以前人們是用標準樣件或樣塊,通過肉眼觀察或用手觸摸,對表面粗糙度做出定性的綜合評定。目前粗糙度儀主要涉及的行業領域有:一、非金屬加工制造業,隨著科技的進步與發展,越來越多的新型材料應用到加工工藝上,如陶瓷、塑料、聚乙烯,等等,現在有些軸承就是用特殊陶瓷材料加工制作的,還有泵閥等是利用聚乙烯材料加工制成的。這些材料質地堅硬,某些應用可以替代金屬材料制作工件,在生產加工過程中也需要...

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